01.10.2016 Ätzkapazitäten für
Dickkupfertechnologie erweitert
Unter anderem durch eine steigende Nachfrage nach Technologien
für regenerative Energien und E-Mobilität und den dabei zum
Einsatz kommenden hohen Kupferstärken
werden in der Zukunft zusätzliche Ätzkapazitäten für sehr lange
Durchlaufzeiten benötigt. MOS hat sich mit der Inbetriebnahme
einer zusätzlichen sauren Ätzlinie mit 8 Ätzkammern auf die
Anforderungen eingestellt. Kupferdicken mit bis zu 400 μm sind
somit wirtschaftlich auch für größere Stückzahlen darstellbar.
Auch für Feinstleiter ergeben sich durch saures Ätzen gewisse
Vorteile. In Kombination mit der bereits vorhandenen alkalischen
Ätzlinie ist somit ein Höchstmaß an technologischer Flexibilität
vorhanden.
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